UPW-P系列超纯水系统
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型号 |
UPW-P |
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进水及出水 |
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进水水质 |
纯水（电导率<20 μs/cm） |
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进水温度 |
5-40℃ |
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进水压力 |
- |
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出水水质 |
超纯水 |
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超纯水指标 |
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电阻率 25℃ |
18.2 MΩ |
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电导率 25℃ |
0.055 μs/cm |
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流速 |
1.5-2 L/min |
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TOC |
<10 ppb |
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颗粒物（≥0.22 μm） |
<1 pc/ml |
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细菌 |
<1 cfu/ml |
